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高純液氯

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制備高純度氯化氫的合成是必然的發(fā)展趨勢
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制備高純度氯化氫的合成是必然的發(fā)展趨勢
    淄博言赫特氣有限公司現(xiàn)有年產2000噸高純氯化氫生產線,連續(xù)批量生產應用于單晶硅外延片制造的5N(99.999%)電子級(VLSI)氯化氫,以及應用于醫(yī)藥中間體、農藥及精細化學品制造的2.8N(99.8%)化學級氯化氫氣體。
    電子及氯化氫在我們生活的各個領域中具有廣泛的應用前景,它不僅是電子工業(yè)中制造大規(guī)模集成電路所需的重要材料之一,而且應用于醫(yī)藥、化工、半導體行業(yè),因此需求量越來越大。
    目前已有研究人在研究制備過程中成功合成了電子級氯化氫,同時從這些合成方法中發(fā)現(xiàn)解析法和鹽酸脫析法制備氯化氫工藝簡單課大規(guī)模生產,但是制備的氯化氫純度偏低,越來越不滿足電子工業(yè),尤其是集成電路的要求。合成法生產氯化氫的純度偏高,但其中水量高,腐蝕嚴重,對設備要求高,生產成本高??紤]到環(huán)保以及工業(yè)副產品回收利用等多方面因素,制備高純度氯化氫的合成是必然的發(fā)展趨勢,正如石油化工副產物氯化氫提純法。
    此提純法無需外加反應介質,因而避免了其它雜質介質的引入,而且操作簡單,生產成本低,但是在我國技術還不太成熟。我國的電子級氯化氫產品大多從美,日等國進口,價格昂貴。2003年10月我公司電子及氯化氫通過了北京市科委科技成果鑒定,獲得國家授權專利,具有自主知識產權。經國內外多家半導體材料生產企業(yè)在單晶硅片氣相拋光、外延基座腐蝕和硬質合金鍍膜工藝中使用證明,其主要性能技術指標與國外同類產品相當,填補了我國電子級氯化氫產品生產的空白。
發(fā)布時間:2015-07-13 10:08:39
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